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硅烷燃烧筒
硅烷燃烧筒

硅烷燃烧筒是处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备,主要用于处理太阳能电池生产线行业以及CVD化学气相沉积工艺所产生的废气。

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