超日净化硅烷筒交付无锡半导体产线
特种尾气治理设备技术解析

近日，超日净化硅烷专用燃烧筒设备完成生产检验，正式发往无锡半导体制造园区，服务于晶圆加工 CVD 工艺段特种废气治理项目，为含硅烷、磷烷等特种尾气提供专用化治理方案。

制程迭代催生刚需，专用化设备成配套关键

无锡作为长三角半导体产业核心集聚区，芯片制造制程不断迭代升级，含硅烷、磷烷等特种尾气的处理要求持续提升，专用化、高安全性的治理设备成为产线配套刚需。超日净化本次交付的硅烷燃烧筒，针对半导体制程小风量、高浓度、间歇排放的工况特点定制开发，实现安全、高效、稳定的尾气净化效果。

直面治理难点，从源头破解安全与堵塞风险

半导体制程产生的硅烷废气具有遇空气自燃、爆炸极限宽、伴随有毒副产物等特点，治理难度远高于常规工业废气。若处理工艺匹配不当，易引发管道堵塞、设备腐蚀甚至安全事故，同时面临严格的排放管控要求。

分流进气与多点监控，确保彻底氧化分解

技术层面，设备采用分流进气设计，硅烷尾气经分流盘分散后进入燃烧室，降低进气压力的同时保障与空气充分混合燃烧；燃烧室配置多点点火系统与温度监测模块，实时监控燃烧状态，确保硅烷彻底氧化分解为二氧化硅与水，无有毒中间产物生成。

三重防护联动，紧凑结构适配洁净车间

安全设计上，设备全程配备三重防护机制，与产线中控系统联动，异常工况可即时触发应急切断程序。设备结构紧凑、占地面积小，适配半导体厂区洁净车间周边有限的安装空间，可直接对接真空泵排气口，实现原位治理。

深耕长三角，持续升级特种废气治理能力

此次硅烷燃烧筒的交付，是超日净化深耕长三角半导体环保市场的又一落地案例。未来公司将持续优化特种废气治理技术，为无锡及周边半导体、光伏企业提供更专业的废气处理整体解决方案。