芯联集成电路制造股份有限公司-半导体废气工程案例
壹
服务背景
服务对象
芯联集成电路制造股份有限公司
主营业务
晶圆加工 · 芯片代工
承接单位
江苏超日净化科技有限公司
涵盖工序
CVD · 刻蚀 · 扩散 · 清洗
废气类型：硅烷工艺尾气、酸碱腐蚀性废气、有机挥发性废气。
核心问题：厂区原有废气收集管路布局不合理，废气收集不充分，车间存在废气逸散；不同品类废气管路混接存在运行隐患。
改造目标：重新规划、成套安装分区独立集气管道，同步匹配对应废气处理设备。管路需耐腐蚀、密封性强，适配洁净车间标准，保障废气完整收集、稳定输送至净化设备，满足环保与车间安全管理双重要求。
核心问题：厂区原有废气收集管路布局不合理，废气收集不充分，车间存在废气逸散；不同品类废气管路混接存在运行隐患。
改造目标：重新规划、成套安装分区独立集气管道，同步匹配对应废气处理设备。管路需耐腐蚀、密封性强，适配洁净车间标准，保障废气完整收集、稳定输送至净化设备，满足环保与车间安全管理双重要求。
贰
服务过程
江苏超日净化科技有限公司负责全厂废气收集管路整体规划、材料加工、现场吊装铺设、密封对接、压力调试全流程安装施工，同步配套废气处理设备对接施工。
1
管路分区专项规划
按照废气种类划分三套独立管路系统，硅烷尾气、酸碱废气、有机废气完全分路布设，杜绝互通混流。根据各工序设备点位精准测算风量、风压，优化支管与主管管径，避免负压不足导致收集不完全。
2
耐腐蚀管路材料施工
硅烷管路采用SUS304不锈钢无缝管道，全程静电接地，配套氮气吹扫及泄压预留接口；酸碱管路选用耐腐PP材质；有机管路采用防腐复合管道。所有法兰、焊接位置均做密封加固处理，杜绝渗漏。
3
集气点位标准化安装
在CVD、刻蚀、清洗、光刻等设备工位定制密闭集气罩，支管就近对接产线排气口，主管沿车间吊顶规整排布，配套支架与减震固定件降低运行噪音。管路增设检修口、阀门及风压监测点位，方便后期巡检维护。
4
管路与净化设备对接调试
整套集气管路分别对接CRS不锈钢硅烷燃烧筒、多级酸碱洗涤塔、活性炭纤维吸附设备，分段做气密性打压测试，调节阀门平衡各支路风量，配套自控风压监测模块，同步完成整套系统联动调试。
叁
服务结果
| 成果维度 | 详细说明 |
|---|---|
| 收集效果 | 标准化分区集气管路安装完成后，各工位废气收集无死角，车间无废气异味逸散，各项排放指标达标，顺利通过环保验收。 |
| 运行安全 | 三类废气独立管路互不干扰，不锈钢硅烷管路防静电、防爆设计到位，全管路无渗漏、无堵塞，风压均衡。 |
| 洁净适配 | 管路排布整齐美观，减震降噪、密封防尘，不破坏车间洁净环境，预留检修点位，后期维护操作便捷。 |
| 施工交付 | 严格遵循半导体车间施工规范，错峰施工不影响产线建设，一次性完成安装、检测与联动调试，按期交付投入使用。 |
肆
客户反馈
"
本次全厂废气收集管路改造安装项目由江苏超日净化全程负责，前期管路规划方案贴合我们芯片车间多品类废气工况，分区独立管路彻底解决了之前废气混流、收集不全的问题。管材防腐、密封工艺做得很到位，打压测试全部合格，车间再也没有废气外溢的情况，后端净化设备运行也更加稳定。施工人员专业规范，施工过程没有干扰厂区建设进度，管路布局整洁方便后期检修，后续产线扩建的集气管路工程我们优先选择江苏超日净化。
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